光学圆柱几何形状的精确测量和误差消除

黄景志; 谭久彬; 谷伟

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光学圆柱几何形状的精确测量和误差消除

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为提高圆柱形光学元件形状测量精确度,对采用圆柱度测量仪测量光学圆柱时存在的3种定位误差进行了分析。针对偏置误差,提出一种包含有传感器测头偏移误差和试件偏心误差的双偏置参数圆轮廓测量模型以及基于参数优化的偏置误差分离方法,可避免现有单参数测量模型的原理缺陷,实现对偏置参量的精确估计与直接求解;针对基准间平行定位误差,提出了"倒置法"误差分离方法,以实现对基准间平行定位误差的精确分离和补偿;针对气浮导轨轴向定位误差,提出了基于液体阻尼的气浮导轨轴向定位误差抑制方法。仿真和实验验证了上述方法的有效性。

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来源
《光电子．激光》 |2009年第9期|1174-1180|共7页
作者
黄景志; 谭久彬; 谷伟;
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作者单位

哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;

黑龙江哈尔滨150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数据处理、数据处理系统;
关键词
光学圆柱; 精密测量; 定位误差; 圆柱度测量仪;

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