大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究

戚二辉; 罗霄; 郑立功; 张学军

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大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究

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为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的非递归方法进行数据处理,同时编写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果表明,五棱镜扫描系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5 rms,对power项、astigmatism项的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nmrms,能够完成大口径非圆形光学平面镜低像差的高精度检测。

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来源
《光电子．激光》 |2014年第7期|1370-1375|共6页
作者
戚二辉; 罗霄; 郑立功; 张学军;
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作者单位

中国科学院大学;

北京100049;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

吉林长春130033;

中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;

吉林长春130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用光学;光学计量仪器;
关键词
光学检测; 五棱镜扫描系统; 非递归运算; 大口径非圆形平面镜; Monte-Carlo分析;

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