微纳米PIN电光调制器的优化

冯松; 高勇

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微纳米PIN电光调制器的优化

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在微纳米PIN电光调制器的基础上,分析了载流子浓度对其调制特性的影响。根据注入调制区载流子平均浓度随时间变化关系,采用在驱动信号中加入正反向预加重电压的调制电压方式,不仅可以提高注入载流子浓度,而且可以缩短反向抽取载流子所用的时间,从而有效提高电光调制器的调制速度;详细分析了PIN电光调制器结构中内脊高度H、外脊高度h,波导脊宽W以及重掺杂区到波导的距离Ws等参数对其调制特性的影响;最终根据数据的分析,给出了优化后的参数,制作了电光调制器并进行了测试,测试结果验证了文中数据分析的正确性。

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来源
《光电子．激光》 |2014年第5期|870-875|共6页
作者
冯松; 高勇;
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作者单位

西安理工大学自动化与信息工程学院;

陕西西安710048;

西安工程大学理学院;

陕西西安710048;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;光波导;
关键词
光电器件; 电光调制器; PIN结构; 载流子浓度;

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