基于反射光栅的超精密定位系统研究

张金龙; 刘阳; 刘京南; 内田敬久

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基于反射光栅的超精密定位系统研究

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应用光学理论研究了一种μm级位移分辨率的反射型双级光栅测量系统,建立了反射莫尔信号与对应位移的数学模型,通过计算机仿真分析了反射莫尔信号的位移特性,进而设计了一套基于反射光栅的精密定位系统。系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及超精密自动定位;采用的修正莫尔技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度及定位精度;通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,实现高速高精度定位。实验结果表明,基于反射光栅的精密定位系统可获得±10nm的定位精度。

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来源
《光电子．激光》 |2010年第1期|70-73|共4页
作者
张金龙; 刘阳; 刘京南; 内田敬久;
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作者单位

南京师范大学电气与自动化工程学院;

江苏南京210042;

东南大学自动控制系;

江苏南京210096;

日本爱知工业大学智能机械工学科;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP274.5;
关键词
反射光栅; 莫尔信号; 修正莫尔技术; 精密定位; 复合控制;

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