基于激光回馈效应的纳米计量系统

曾召利; 张书练; 谈宜东

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基于激光回馈效应的纳米计量系统

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提出了一种基于激光多重回馈效应的纳米计量系统,系统采用非准直平凹回馈外腔结构,使在回馈外腔中往返多次的回馈光束返回到激光谐振腔中,形成高阶回馈效应,得到了高密度、类正弦和位相正交的双频激光回馈条纹。条纹的密度为传统弱回馈的几×10倍,而且回馈条纹以激光波长为尺子,具有可溯源性,在没有任何电细分的条件下达到了nm级的光学分辨率。特别地,通过采用双折射双频激光器,获得了两偏振正交的激光回馈条纹,而且两正交偏振回馈条纹间还具有位相差,位相差的大小主要由双频激光器的频差、外腔长以及回馈阶次决定。利用两正交偏振回馈条纹间的位相关系,可用于识别物体的运动方向。与激光干涉仪的比对实验表明,系统的线性度优于5.2×10-5,光学分辨率为10.2nm,量程大于500μm。

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来源
《光电子．激光》 |2014年第3期|508-513|共6页
作者
曾召利; 张书练; 谈宜东;
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作者单位

清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室;

北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
纳米计量; 溯源性; 激光回馈; 多重回馈;

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