超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析

张明月; 王岩; 殷杰; 董颖怀; 李跃华; 赵静楠

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超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析

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摘要

为研究超声复合激光蚀除机理,本文使用COMSOL软件对超声振动辅助激光烧蚀金属铝表面烧蚀过程进行仿真,对比研究了超声振动对激光蚀除机理和过程的影响。研究发现,激光烧蚀的开始阶段主要以高温汽化来去除材料。随着烧蚀时间的增加,蚀除方式主要转变为熔融物飞溅蚀除,这对烧蚀凹坑的形成起主要作用。并研究了不同频率下激光蚀除材料的速度,研究发现,引入超声振动后,蚀除速度降低了26.2%-39.43%。

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来源
《光电子．激光》 |2023年第3期|321-327|共7页
作者
张明月; 王岩; 殷杰; 董颖怀; 李跃华; 赵静楠;
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作者单位

天津科技大学机械工程学院;

天津300222;

天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室;

天津300222;

天津航天机电设备研究所;

天津300301;

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正文语种 chi
中图分类等离子体物理学;
关键词
激光烧蚀; COMSOL; 超声振动; 有限元仿真; 表面形貌;

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