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GexSi1—x／Si脊形波导Mach—Zehnder干涉型调制器的优化分析与设计

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在研制成功ＧｅＳｉ合金单模脊形波导事，进一步用这种波导研制Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ调制器。文中对调制器设计中的三个步骤进行了优化，分析并且讨论了结构不对称性和有源区载流子吸收效应的影响，为研制工作奠定了基础。

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来源
《光电子．激光》 |1998年第1期|12-15|共4页
作者
万建军; 李国正;
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作者单位

西安交通大学微电子工程系;

西安交通大学微电子工程系;

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正文语种 CHI
中图分类光波导;
关键词
调制器; 等离子色散效应; 光波导; 干涉型;

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