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测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法

         

摘要

本文介绍了用准波导耦合m线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明,薄膜样品厚度的误差为3.62×10^-2μm。并对测量精度作了分析和讨论。

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