二维微透镜列阵制备的新方法及技术研究

杨国光

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＜正＞ 1.概述二维微透镜列阵是光学前沿学科——微光学的关键器件。制备微透镜列阵的传统方法是离子交换形成梯度折射率（GRIN）法和光敏玻璃热成形法（光解法）以及二元光学制备微透镜法（二元Fresnel法）,近几年又提出光刻胶热熔法（光熔法）。本项目是提出一种新的光刻热熔法,用于制备高精度,低成本的微透镜列阵,从而克服上述方法的不足。我们已用这种光刻热熔法制成20×20,相对口径F/D=2的微透镜列阵,微透镜单元口径为90μm,单元之间中心距为100μm,测试结果表明本方法制备的微透镜列阵,具有如下完善的性能: （1）面形误差＜1.3λ（λ=0.63μm）;

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来源
《光电子．激光》 |1997年第s1期|72-73|共2页
作者
杨国光;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州 310027;

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正文语种 chi
中图分类应用光学;
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