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光纤与波导的对接耦合

         

摘要

本文报道了利用Si单晶各向异性的特点,在两块Si单晶片上,择优蚀刻出排列形状不同的V形Si槽,通过嵌入V形槽中的光纤,将间距为60μm的10个信号耦合到探测器的间距为1000μm的10个接收面上。

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