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准直检测的改进—半孔径双向剪切干涉法

         

摘要

文中论述了半孔径双向剪切干涉仪的结构及进行准直检测的原理,给出了干涉条纹表达达式,讨论了该法的检测灵敏度。将检测结果与Talbot干涉法的结果做了分析比较。

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