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RF放电中的四电极系统及其有关特性

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本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。

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来源
《光电子．激光》 |1996年第3期|188-192|共5页
作者
王又青; 安承武;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN248.22;
关键词
RF放电; 四电极系统; 二氧化碳激光器;

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