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脊形单模硅光波导的设计

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摘要

对脊形单模硅光波导的模式特性进行了理论设计。分析了λ＝１．３μｍ的脊形硅光波导的结构参数及工艺流程。这种光波导的数值孔径和单模光纤匹配，传播损耗低于平面条形硅光波导，文中并对传播损耗作了讨论。

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来源
《光电子．激光》 |1995年第2期|79-8287|共5页
作者
韩关云;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光波导;
关键词
脊形; 单模; 硅; 光波导; 设计;

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