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采用透射率极值法监控的薄膜淀积电脑仿真

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摘要

分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系 ,推导了在不同情况下薄膜淀积时 ,监控者对于透射率极值点的判定误差和被镀层的光学厚度误差之间的关系式 ,对规整膜系在透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进行了电脑仿真。仿真结果与实验结果相吻。

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来源
《光电子．激光》 |2001年第1期|40-43|共4页
作者
张晓晖; 陈清明; 李晓平; 朱伟明;
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作者单位

华中理工大学激光技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;计算机仿真;
关键词
薄膜淀积; 极值监控法; 膜层厚度误差; 电脑仿真;

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