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离子自组装成膜技术制备TiO_2/SiO_2薄膜光波导

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摘要

采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性。结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大。一般TiO2占10wt%,此时,光波导中的光损耗较低。在更高的含量范围内,必须使TiO2分散。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2003年第5期|478-481|共5页
作者
李小甫; 余海湖; 姜德生;
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作者单位

武汉理工大学光纤传感技术研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光波导;
关键词
离子自组装; ISA; 成膜技术; TiO2/SiO2薄膜; 光波导; 折射率; 传输损耗; 光损耗;

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