一种二维近红外枕形Si基位置敏感探测器研制

戚巽骏; 林斌; 陈浙泊; 曹向群; 陈钰清

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一种二维近红外枕形Si基位置敏感探测器研制

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建立一种新的Si基位置敏感探测器(PSD)光生电流理论模型,导出了PSD的光生电流、光谱灵敏度的表达式;研究了PSD光敏面各层厚度和SiO2薄膜厚度对PSD波长响应灵敏度的影响,认为p层的厚度主要影响PSD在短波段的响应度,而耗尽层对PSD的中长波响应有着很大的影响;设计并制造了二维近红外枕形PSD,对其进行实际测试,其光谱响应峰值波长为920 nm,灵敏度达到0.626 A/W。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第10期|1208-1211|共5页
作者
戚巽骏; 林斌; 陈浙泊; 曹向群; 陈钰清;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心;

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正文语种 chi
中图分类 TH703.2;
关键词
位置敏感探测器(PSD); 近红外; pn结; 光谱响应;

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