Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

张红霞; 张以谟; 井文才; 周革; 李朝辉

首页> 中文期刊> 《光电子．激光》 >Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Mirau相移干涉中的参考面对光路造成了中心遮拦。理论分析了被测面视场、Strehl判据、分辨本领、调制传递函数MTF以及残余像差和中心遮拦的关系,得到参考面的允许直径0.8～1.28mm。设计了参考面直径D=1.0mm的Mirau干涉物镜,其中心遮拦ε=0.129,和没有中心遮拦的系统相比,MTF变化的幅度不超过6%,允许的残余像差为0.978。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2004年第10期|1218-1221|共4页
作者
张红霞; 张以谟; 井文才; 周革; 李朝辉;
展开▼
作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体激光器;
关键词
参考面; 中心; 相移干涉术; 直径; 判据; 像差; MTF; 物镜; 分辨本领; 光路;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 相移干涉术中压电陶瓷的驱动电路 [J] . 刘中本 . 西安工业大学学报 . 1995,第003期
2. 相移干涉术修理五步算法研究 [J] . 韦春龙 ,陈明仪 . 光学仪器 . 1997,第006期
3. 液晶相移剪切电子散斑干涉术的研究 [J] . 姜力军 ,刘伟 . 光电子．激光 . 1995,第003期
4. 相移散斑干涉计量中包裹相位误差研究 [J] . 蒋涛 . 长江大学学报（自然版）理工卷 . 2012,第005期
5. MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究 [J] . 郭彤 ,胡春光 ,陈津平 . 传感技术学报 . 2006,第05A期
6. 激光散斑检测中剪切散斑干涉术和相移ESPI技术介绍 [C] . 孙小勇 ,周克印 ,王开福 . 第十届全国无损检测新技术学术会议 . 2007
7. 相移干涉术中相移非线性误差的分析及校正算法的研究 [A] . 张涛 . 2015

Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅