激光剥离GaN/Al_2O_3材料温度分布的解析分析

黄生荣; 刘宝林

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激光剥离GaN/Al_2O_3材料温度分布的解析分析

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分析了脉冲激光作用下GaN的衬底剥离过程。利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了分界面温度和脉冲宽度的关系。表明,单脉冲作用下分界面的温度与加热时间的平方根成正比,并得出脉冲过后随着深度变化温度梯度的分布。在连续脉冲作用时,分界面的温度呈锯齿状不断升高。

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来源
《光电子．激光》|2004年第7期|831-834|共4页
作者
黄生荣; 刘宝林;
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作者单位

厦门大学物理系;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
激光剥离; GaN/Al2O3材料; 温度分布; 脉冲宽度;

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