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蚀刻衍射光栅设计的一点法与二点法

摘要

本文介绍了蚀刻衍射光栅 (EDG)的解复用特性 ,对于光栅几何参数的设计 ,传统的等距凹面光栅不适用于平面波导 ,文中详细的讨论了两种无像差点设计方法 :一点法和两点法。对于两种方法确定的光栅点 ,文中用光程误差进行评价 ,模拟结果显示 。

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