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Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器制作技术

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比较了制作LiNbO3脊形波导的两种制作工艺-DE工艺和ED工艺,并介绍了一种新型自对准技术.在未来应用的集成光学器件制作中,这种自对准制作技术具有很大的应用潜力.

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来源
《光电子．激光》 |2004年第z1期|188-189|共2页
作者
张瑞君;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十四研究所;

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正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词

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