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移相式轮廓测量法相移误差的计算机模拟校正

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在移相式轮廓测量法 (PMP)中 ,提出了基于快速傅里叶变换 (FFT)的相移校正算法。利用计算机仿真技术发现 ,在移相式轮廓测量法的固定步长出现定值偏差时 ,在测量结果频域的光栅二倍频处出现峰值。据此提出定值相移误差的频域检测方法。

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来源
《光电子．激光》 |2001年第8期|868-871|共4页
作者
司书春; 王蕴珊; 徐建强;
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作者单位

山东大学物理与微电子学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机仿真;电气测量技术及仪器;
关键词
相移误差; 计算机模拟; 移相式轮廓测量法;

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