SOI阵列波导光栅的设计与制作

方青; 邱海军; 李芳; 刘育梁

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本文讲述了基于SOI材料的5×5阵列波导光栅(AWG)的设计与器件的制作.设计结果显示,通过选择合适的波导结构可以有效地减小器件的偏振特性;采用合适的弯曲半径,不但可以减小器件的损耗,而且可以降低器件的串扰.器件的测试结果表明,器件的中心波长、通道间隔与设计值基本相符;器件的相邻信导串扰接近10dB.器件初步达到分波的功能.

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来源
《光电子．激光》 |2004年第z1期|218-220|共3页
作者
方青; 邱海军; 李芳; 刘育梁;
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作者单位

中国科学院半导体研究所;

北京;

100083 中国科学院半导体研究所;

北京;

100083 中国科学院半导体研究所;

北京;

100083 中国科学院半导体研究所;

北京;

100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
SOI材料; 阵列波导光栅(AWG); 信道间隔; 中心波长; 相邻信道串扰;

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