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马军山; 张世宙;
上海理工大学光学与电子信息工程学院;
日本东北大学大学院工学研究科;
分辨力; 角位移传感器; 临界反射; 量程扩展;
机译:一种估算化学传感器阵列分辨力的实用方法:在特征选择中的应用
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机译:密封腔多晶硅压力传感器的高应力和超量程行为
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机译:集成压力传感器,具有双量程和高量程值
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