首页> 中文期刊> 《光电子．激光》 >AWG用Si基SiO_2波导材料的制备

AWG用Si基SiO_2波导材料的制备

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用 ,尤其是 Si基 Si O2 波导器件在光通信领域中具有许多优点。因此 ,如何在 Si衬底上制备出性能稳定良好的 Si O2 光波导材料至关重要。本文介绍了几种制备 Si O2

著录项

来源
《光电子．激光》 |2002年第8期|868-871|共4页
作者
张乐天; 吴远大; 邢华; 李爱武; 郑伟; 刘国范; 张玉书;
展开▼
作者单位

吉林大学电子科学与工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光波导;
关键词
AWG; SiO2; 波导材料; 波分复用; 热氧化法; 溶胶-凝胶法; 阳极氧化法; 化学汽相法; 火焰水解法; 二氧化硅; 列阵波导光栅;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Si基SiO_2波导芯层热应力的理论研究 [J] . 黄华茂 ,黄德修 ,刘文 . 半导体学报：英文版 . 2007,第9期
2. 有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征 [J] . 王玥 ,吴远大 ,李建光 . 半导体光电 . 2007,第4期
3. 硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备 [J] . 王哲哲 ,赵高扬 ,张晓磊 . 光子学报 . 2009,第9期
4. SiO_2原位制备Al_2O_(3P)/Al-Si复合材料 [J] . 张瑞英 ,史志铭 ,李红霞 . 特种铸造及有色合金 . 2010,第7期
5. 新型硅基双异质外延SOI材料Si/γ-Al_2O_3/Si制备 [J] . 王启元 ,谭利文 ,王俊 . 功能材料与器件学报 . 2003,第3期
6. Polymer/Si AWG器件材料光学常数的准确测量 [C] . 张大明 ,李德辉 ,于硕 . 中国光学学会2004年学术大会 . 2004
7. 溶胶—凝胶法制备nc-Si/SiO_2结构的发光特性研究 [A] . 王蓟 . 2002

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号