低温热致变色VO_2薄膜的制备及应用

沈楠; 王双保; 黄光; 李毅; 易新建

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低温热致变色VO_2薄膜的制备及应用

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提出了一种制备低温热致变色VO2新型薄膜材料的工艺方法。在玻璃基底的Si3N4薄膜上溅射沉积VOx薄膜,再经还原性气氛退火,最终得到了nm量级的VO2颗粒。四探针测试电阻温度关系表明,该类材料相变温度已经靠近室温。不同温度下测试的红外透过曲线表明,该材料在相变前后有良好的红外开关特性,能够在智能窗等各类光电产品中获得应用。

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来源
《光电子．激光》 |2005年第10期|1227-1230|共4页
作者
沈楠; 王双保; 黄光; 李毅; 易新建;
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作者单位

华中科技大学光电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类智能材料;薄膜技术;
关键词
VO2薄膜; 相变; 离子束溅射; 智能窗;

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