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PSTM 用于Al_2O_3光波导薄膜的研究

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利用光子扫描隧道显微镜 (PSTM)检测研究 Al2 O3光波导薄膜及其制备工艺。分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的 Al2 O3光波导薄膜 PSTM图像。结果表明 :适当的增加基片的温度可以减小散射损耗 ,改善 Al2

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来源
《光电子．激光》 |2001年第4期|351-353|共3页
作者
潘石; 王继松; 吴世法; 简国树;
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作者单位

大连理工大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
光子扫描隧道显微镜; 光波导薄膜; 氧化铝;

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