原子力显微轮廓仪系统的研究

赵君臣; 章海军; 张冬仙; 林晓峰

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研制了原子力显微镜(AFM)轮廓仪,介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计,并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图。跟普通光学轮廓仪相比,该系统不需要进行复杂的光路调整,避免了光学元器件带来的误差,且工作行程不受光学孔径的制约,具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点。实验表明,该系统具有良好的重复性、稳定性,横向分辨率为1μm,纵向分辨率为1 nm。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第7期|841-844|共4页
作者
赵君臣; 章海军; 张冬仙; 林晓峰;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
原子力显微镜(AFM); 步进电机; 轮廓仪; 纳米;

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