M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计

吴波; 陈才和; 张晓玲; 崔宇明; 张燕君; 钟娟娟

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M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计

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提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。

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来源
《光电子．激光》 |2004年第11期|1263-1266|共4页
作者
吴波; 陈才和; 张晓玲; 崔宇明; 张燕君; 钟娟娟;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光波通信、激光通信;集成光学器件;
关键词
集成光学; 波导; 偏振器; MOEMS; 声光调制器; 微光电机械系统; 干涉仪; 量块; 分析设计; 相位检测;

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