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母盘刻录中信息符成形模拟与实验研究

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摘要

介绍了光刻胶的性能和反应机理,建立了光刻模型,讨论了曝光和显影对信息符的综合影响并对信息符形貌进行了仿真,着重分析刻录激光光斑能量分布对不同周期记录符的影响。以Shipley AZ-1350光刻胶和相应的显影液以及DVD母盘的生产为例,验证了仿真的正确性。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2006年第3期|265-268|共4页
作者
宋洁; 陈垦; 徐端颐; 潘龙法; 倪屹; 张启程;
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作者单位

清华大学光盘国家工程研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光存贮器及其驱动器;
关键词
母盘; 抗蚀剂; 曝光; 显影;

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