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超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究

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对基于超声喷雾热分解工艺制备400 mm×400 mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2007年第11期|1317-1321|共5页
作者
赵庚申; 王庆章; 郭天勇; 赵二刚;
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作者单位

南开大学光电子研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类太阳能电池;
关键词
超声喷雾热分解; 太阳电池TCO膜; 掺氟二氧化锡薄膜; 掺杂比;

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