一种测量旋转轴线位置的高分辨率光纤传感器

褚渊; 徐峰; 陈书剑; 丁天怀

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一种测量旋转轴线位置的高分辨率光纤传感器

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研制了一种用于旋转轴线位置测量的高分辨率反射型强度调制(RI M)光纤传感器。在旋转部件端面刻划漫反射图谱,利用该图谱对反射光的强度调制,来获取旋转轴线位置偏移的大小和方向。该传感器制作工艺简单,分辨率可以达到0.1μm,灵敏度可以达到100.7mV/μm,在测量范围内具有良好的线性,而且通过调整传感器与反射面间的距离,可以实现对测量范围和灵敏度的调整。给出了旋转轴线位置偏移与反射光强度调制的关系表达式,并利用所建立了实验系统对该传感器的性能进行了分析。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第3期|306-310|共5页
作者
褚渊; 徐峰; 陈书剑; 丁天怀;
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作者单位

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光纤元件;
关键词
旋转轴线位置; 光纤传感器; 强度调制;

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