波导多层光卡的模压制作法

王仁洲; 梁忠诚; 顾敏芬

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波导多层光卡的模压制作法

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提出了波导多层光卡的一种模压制作方法。该方法以聚碳酸脂(PC)作为芯层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为包层。首先通过传统的光刻过程制作带有信息的金属母板,然后用金属母板在PC表面压印信息坑,再在PC薄膜表面均匀地旋涂PDMS使之形成复合片,最后将多个复合片叠合在一起形成波导多层光卡。通过光源侧向耦合实验观察,获得的光卡样品的数据图像清晰,表明这是一种可行的多层光卡制作方法。

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来源
《光电子．激光》 |2008年第4期|447-448|共2页
作者
王仁洲; 梁忠诚; 顾敏芬;
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作者单位

南京邮电大学数理学院;

南京师范大学江苏省光电技术重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类存贮器;
关键词
波导多层; 光卡; 模压法; 聚二甲基硅氧烷(PDMS);

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