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用于可见光波段的二元光学混合光学系统的设计与应用

摘要

研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统。设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下。因为加工误差等因素,其P-V测得约λ/5,但已满足Strehl判据(<λ/4),结果验证了二元光学元件(BOEs)在可见光波段应用的可行性。系统中,二元面采用8台阶3次套刻,掩模最小线宽为102μm。根据测试结果,提出了改进现有系统缺陷的方向和措施。

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