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电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级多晶硅中杂质元素

         

摘要

多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限(3s)在0.3~19.7ng.g-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定,回收率在85.2%~111%之间,相对标准偏差(n=11)在0.9%~4.6%之间。

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