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一种简便的真空室返油清洗法

         

摘要

@@ 在真空镀膜实验中,若遇突然停电而未及时采取应对措施,或操作不当(例如关闭机械泵时未很快将机械泵放气阀门打开),则会发生机械泵油进入真空室和扩散泵的返油事故(当通往真空室和扩散泵的真空管路阀门均开启时).

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