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张正模;
无;
等离子体源; 大气压强; 低温放电;
机译:真空装置的开发利用微波等离子体源II
机译:使用微波等离子体源真空排气装置的发展
机译:线性磁化等离子体装置的氧化物涂层阴极等离子体源
机译:设计用于制造大面积装置的VHF线性等离子体源结合移动基质沉积的非晶态和微晶态硅的层性质研究
机译:血浆药物大气压等离子体源
机译:基于电压倍增器的大气压下冷等离子体源的电源电路
机译:制备条件对等离子体源离子植入制备的金刚石状碳膜结构性能和硬度的影响
机译:体积等离子体源的开发和表征
机译:使用双重等离子体源和基质处理装置(包括相同的等离子体源)的等离子体产生装置
机译:真空镀膜装置中等离子体源的阴极和真空镀膜装置的等离子体源
机译:螺旋波等离子体源,用于这种等离子体源的天线以及使用这种等离子体源进行等离子体清洁或中和空间表面的方法
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