VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环使用寿命是PPS产品的2．5倍

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目前．威格斯公司通过制造商（fabricator）的网络为世界各地包括欧洲、中国大陆、台湾、日本及韩国等地的许多晶圆制造厂供应VICTREX PEEK聚合物。Strasbaugh公司工程项目经理Bill Kalenian说：“我们多年来直采用VICTREX PEEK聚合物制造CMP保持环，客户对效果非常满意。VICTREX PEEK聚合物因其独特的性能，包括固有高纯度、强度、耐化学品性能及耐磨损性能，被公认为用于CMP环的最佳高性能热塑性材料之一。

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来源
《塑胶工业》 |2007年第2期|53|共1页
作者

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作者单位

《塑胶工业》;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类聚醚类;
关键词
PEEK; 聚合物; 制造商; CMP; 使用寿命; P环; PPS; 耐磨损性能;

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