电子行业用高纯金溅射靶材研究综述

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• 来源
  《贵金属》 |2019年第2期|83-8794|共6页
• 作者

  谭志龙; 陈家林; 闻明; 王传军; 郭俊梅; 许彦亭; 沈月; 管伟明;

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• 作者单位

  昆明贵金属研究所;

  稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南省贵金属材料重点实验室;

  昆明650106;

  昆明贵金属研究所;

  稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南省贵金属材料重点实验室;

  昆明650106;

  昆明贵金属研究所;

  稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南省贵金属材料重点实验室;

  昆明650106;

  昆明贵金属研究所;

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  昆明650106;

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  昆明贵金属研究所;

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  昆明650106;

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  昆明650106;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 金;
• 关键词

  金属材料; 半导体集成电路; 高纯金; 溅射靶材;