基于垂直方向位移扫描的接触式表面形貌仪

孙艳玲; 谢铁邦

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基于垂直方向位移扫描的接触式表面形貌仪

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为减小测量误差,设计了基于垂直位移扫描的接触式表面形貌仪.该测量仪以保持杠杆处于平衡位置为测量前提, X_Y向,Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器;X_Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位,Z向电机采用压电陶瓷驱动微定位.总体论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理等内容.测量结果表明该系统有效地提高了测量精度.

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来源
《自动化仪表》 |2006年第7期|19-21|共3页
作者
孙艳玲; 谢铁邦;
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作者单位

湖北襄樊学院机械工程系,襄樊,441053;

华中科技大学机械学院仪器系,武汉,430074;

华中科技大学机械学院仪器系,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
表面轮廓仪; 衍射光栅; 直线电机; 压电陶瓷;

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