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苏双图;
福建北电新材料科技有限公司,福建 泉州 362411;
碳化硅; 半导体装置; 制造方法;
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机译:错误:PolozovI.等。碳化硅纤维增强碳化硅基质复合材料的制造使用粘合剂喷射添加剂制造不规则形状和球形粉末。材料2020131766
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