真空镀膜机控制系统的温控改造

刘嘉滨; 沈学浩; 王晓玲

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真空镀膜机控制系统的温控改造

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在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下,结合实际实验教学需要,对设备进行针对性的改造,使其能最大化使用.DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统,但在实验结束过程中,需要人工判断扩散泵是否冷却,然后进行设备与水路系统的关闭操作,并且该过程占据相当的实验时间,影响到实验教学质量.针对扩散泵冷却控制系统进行温控自动化改造,利用温度控制和阀门控制设备,实现对扩散泵冷却系统温度的监控,并可自动关闭水冷却系统与机组设备,做到无人值守.不仅为实验教学提供了充足的实验时间,也可有效地避免因误操作而造成对设备的损坏.

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来源
《实验室研究与探索》 |2014年第12期|49-53|共5页
作者
刘嘉滨; 沈学浩; 王晓玲;
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作者单位

上海交通大学物理与天文系,上海200240;

上海交通大学物理与天文系,上海200240;

上海交通大学媒体与设计学院,上海200240;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类高真空系统及机组;
关键词
真空镀膜; 真空泵; 扩散泵;

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