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锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺分析研究

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摘要

采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系.本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求.

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来源
《实验室研究与探索》 |2004年第4期|19-20,30|共3页
作者
戴国钧;
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作者单位

扬州大学,江苏,扬州,225009;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
锂铁氧体; Cu-Ti复合金属波导膜系; 工艺;

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