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纳米光学质谱仪—“光秤”(三)

         

摘要

(3)基于腔机电系统的光学质谱仪。 图9为基于腔机电系统的纳米光学质谱仪。其中机械振子位于电容为C的平行板电容器的上板。通过一个气体喷嘴把要测量的外界分子(如DNA分子等)喷洒在于此上板。

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