基于小波分析的扫描电镜图像处理

李晓瑜

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基于小波分析的扫描电镜图像处理

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通过将扫描电镜(SEM)所有光学系统调到同轴,选择合适的加速电压及工作距离,同时消除图像的像散,得到分辨率和衬度都适中的SEM图像。以小波分析为基础,对SEM图像进行分析与处理。设计模极大值去噪、阈值去噪及相关性去噪3种去噪方式,对SEM原始图像进行去噪处理,并分别计算峰值信噪比、均方根误差、归一化相关系数及运算时间4种参数,对比去噪后图像与原始图像的相似程度,选择相关性去噪方法为最优去噪方法。利用小波塔式分解将去噪后的SEM图像进行特征增强处理。最后用Maltab2015a对所有结果进行了仿真对比,证明该方法不仅确保SEM图像的质量,而且为后续的图像分析奠定良好的基础。

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来源
《实验室研究与探索》 |2022年第5期|26-29|共4页
作者
李晓瑜;
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作者单位

东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
小波分析; 扫描电镜; 图像去噪; 图像增强;

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