《国家重点基础研究发展规划》’99项目简介（三）

摘要

＜正＞集成微光机电系统研究首席科学家:王跃林（中科院上海冶金所）本项目根据我国未来微小卫星网络的需求,以硅固态卫星等空间飞行器中的微系统为目标,针对微系统中关键的基本单元运动机械、光学元件和流体输运机构中的理论和基础技术问题,进行微米尺度机械结构力学、近波长光学、流体力学理论和基础技术的研究。为此,本项目设以下课题:1.微米尺度运动机械动力学相关问题研究;2.微机械热学相关问题;3.微机械材料力学特性相关问题研究;4.微米尺度光学元件矢量光学相关问题研究;5.微米尺度射频元件相关问题研究;6.微米尺流体输运相关问题研究;7.微系统学科交叉相关问题研究;8.三维加工、材料、封装组装和可靠性相关问题;9.微系统设计方法、建模、数据库和仿真相关问题研究。研究目标:解决微米尺度运动机械、光学元件、流体输运机构和多学科交叉存在的主要问题,提出模型,建立微系统数据库和仿真软件系统;在基础理论研究取得突破的同时,获得有特色和创新的姿态测量和控制、通信及推进微系统,为我国硅固态卫星等空间飞行器的实施提供基础,并在总体上加速我国微系统的发展。

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