超快激光单脉冲诱导硅表面火山坑形貌

纪煦; 丁红军; 张莉英; 付宏鸽; 吕玉梅; 何健

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超快激光单脉冲诱导硅表面火山坑形貌

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超快激光单脉冲在高于烧蚀阈值下诱导硅表面形成了纳米尺度的火山坑形貌.在相对低的通量时,火山坑的形貌为不规则圆形,沿着激光偏振方向的直径略长于垂直激光偏振方向的直径,增加了激光脉冲通量,火山坑形貌渐变成接近圆形.时域有限差分法模拟分析可能存在的物理机理为表面缺陷或因初始的弹坑引起硅表面烧蚀区域的电场重新分布,沿着激光偏振方向的电场强度增强,进而形成火山坑的不规则圆形状.

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来源
《科技经济市场》 |2017年第4期|20-21|共2页
作者
纪煦; 丁红军; 张莉英; 付宏鸽; 吕玉梅; 何健;
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作者单位

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊 065000;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
超快激光; 硅; 火山坑; 通量;

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