基于迈克尔逊干涉仪的激光CCD微位移测量系统研究

赵育良; 王淑娟

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基于迈克尔逊干涉仪的激光CCD微位移测量系统研究

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介绍了一种可进行动态微位移激光测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以去噪装置、判向变频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图处理软件包等,基于位相调制的基本原理,实现了微位移的精确测量.与传统测量方法相比,其精度、误差、灵敏度及稳定度都有较大提高,并实现了微位移的全自动测量.

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来源
《科学技术与工程》 |2010年第7期|1628-1632|共5页
作者
赵育良; 王淑娟;
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作者单位

海军航空工程学院青岛分院,青岛,266041;

海军航空工程学院青岛分院,青岛,266041;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN249.3;
关键词
线阵CCD; 位相调制; 迈克尔逊干涉仪; 微位移; 干涉;

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