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基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件

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摘要

对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析.给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时,梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型.

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来源
《科学技术与工程》 |2005年第5期|313-315|共3页
作者
樊尚春; 乔少杰;
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作者单位

北京航空航天大学仪器学院,测控与信息技术系,北京,100083;

北京航空航天大学仪器学院,测控与信息技术系,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
E型圆膜片硅微传感器谐振式传感器差动检测;

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