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选取基底函数进行干涉波面拟合的研究

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cqvip:基底函数的选取直接影响干涉波面拟合精度。Zernike多项式拟合收敛好,精度高,提供有用信息多,成为利用干涉图获得被检表面信息的理论基础和根本出发点。依据光学系统光瞳和被检表面形状选择相应形式的Zernike多项式作为基底函数。

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来源
《科技信息》 |2007年第13期|P.163172|共2页
作者
田秀云; 侯溪; 费贤祥;
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作者单位

广东海洋大学广东湛江524088;

中科院光电技术研究所四川成都610209;

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正文语种 chi
中图分类机械设计;
关键词
基底函数; 干涉波面; Zernike多项式; 拟合;

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