沸石转轮系统焖烧风险防控

付笃; 杨晓春; 严晨圆; 陈娟

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沸石转轮系统焖烧风险防控

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随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛.然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故.该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议.

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来源
《科技创新导报》 |2016年第31期|27-2931|共4页
作者
付笃; 杨晓春; 严晨圆; 陈娟;
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作者单位

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海 201203;

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海 201203;

上海达恩贝拉环境科技发展有限公司上海 200127;

上海达恩贝拉环境科技发展有限公司上海 200127;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学工业废物处理与综合利用;
关键词
芯片制造业; 沸石转轮; VOC治理; 风险防范;

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